气相沉积镀膜系统腔体环境高效水冷，精确温度控制

　　一、气相沉积镀膜系统材质分析：高通量材料制备（High-Throughput）
-100种样品同时制备，批量高速检测；
-4英寸薄膜，1σ优于1%的超均匀薄膜；
-适用多种镀膜技术，可生长各种薄膜。
二、智能化
-自动控制，一键运行；
-实时监查，远程操控；
-应急制动，安全互锁。
三、稳定性
‒腔体环境高效水冷，精确温度控制，减少材料掺杂；
‒程序全自动化控制，减少人工误差，提高制备重复性；
‒磁控靶枪和电子枪，水压/水流/水温自动报警，提高安全性；
‒激光窗口清洁装置，保证激光轰击能量密度和材料生长稳定性。
四、实时性
‒PID温控系统稳定电流输出，避免磁场波动；
‒RHEED原位分析与监控，实时观测薄膜质量及厚度；
‒高精度石英晶振，监控镀膜速率及镀膜稳定性；
‒高清摄像头，实时监控辉羽状态和材料生长过程。
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