全自动热紫外一体纳米压印设备的技术优势

　　一、产品配置介绍：标准配置名称：全自动热紫外一体纳米压印设备（PP-N-06）。
二、技术参数及规格要求：
（1）能够实现2/4/6英寸晶圆压印。
（2）可实现200nm以上结构转移。
（3）全自动压印，手动取、放PP-N-06片，单片压印。
（4）10.1"触摸屏操作。
（5）适用于软模压印。
（6）设备附带配件。
（7）包含报警装置。
三、全自动热紫外一体纳米压印设备主机包含：
真空系统，压印模腔自动控制系统，压力自动控制系统，基底运送系统；
PLC全自动控制系统，按键及触屏操作界面，紫外光源。
四、技术优势：
（1）可实现z大6英寸全面积压印；
（2）采用高稳定性进口紫外汞灯光源，光源功率≥400W；
（3）压印精度：≥200nm；
（4）压印压力：0.1-30kpa可调；
（5）可实现纳米软模板自动脱模工艺；
（6）PLC自动控制系统；
（7）软件图形化用户界面；
（8）可适用硅片、玻璃、石英、塑料、蓝宝石、金属等通用衬底应用；
（9）残胶均匀性≤±10%；
（10）适用PDMS及软膜工艺，能够实现全自动压印过程。
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