多波长椭偏仪

Film Sense多波长椭偏仪采用寿命长LED光源和非移动式部件椭偏探测器，可在操作简单的紧凑型椭偏仪中实现可靠地薄膜测量。大多数厚度0–1000 nm的透明薄膜只需要简单的1秒测量，就可以获得准确的数据。还可以测量大多数样品的光学常数和其他薄膜特性。
Film Sense FS-8多波长椭偏仪这款功能多波长椭偏仪，售价只是单一波长椭偏仪和光谱椭偏仪的中等水平。FS-8可应用于研究实验室，超净间，原位工艺腔体以及工业质量控制等诸多领域。
主要特点
4个LED光源：蓝色（465nm），绿色（525nm），黄色（580nm），红色（635nm）
椭偏仪探测器中无可移动部件
良好的膜厚精密性，大多数样品精密度高于0.001nm（1秒获取数据），对于亚单原子薄膜精密度等于0.001nm
集成计算机，可实现对设备控制和数据分析，自带浏览器界面，可兼容任何现代计算机，笔记本或平板电脑
优势
寿命长（长达50,000小时），更换LED灯便宜，校准时间短或无需PM程序
快速测量（10ms内获得多波长数据）和长期性能稳定
测量精确，椭偏仪可以实现
软件设置和维护简单
标准FS-8配置
65°入射角
手动放置样品和调节高度
样品尺寸直径200mm和厚度23mm
样品偏转范围+/-20
样品上光束尺寸5 x 12 mm
结构紧凑(180 x 400 mm)和轻巧(4.8 kg)
性能
FS-8多波长椭偏仪擅长测量膜厚范围0-1000nm的透明单一薄膜的厚度和折射率。下表列出的是针对各种不同样品，包括多层膜样品，FS-8获得的标准测量精密度和准确性数据。
Film Sense多波长椭偏仪
应用领域
半导体行业：二氧化硅和氮化物，高介电和低介电材料，非晶和多晶材料，硅薄膜，光刻胶
光学薄膜行业：高和低指数薄膜，如SiO2,TiO2,Ta2O5,MgF2等
显示屏行业：TCO（如ITO），非晶硅薄膜，有机薄膜（OLED技术）
数据存储行业：宝石，如碳膜
工艺研发：原位表征薄膜沉积（速率和光学常数）VS工艺条件，可兼容MBE,MOCVD,ALD和磁控溅射等设备
化学和生物：在液体细胞实验中探测亚单原子层材料吸附
工业：在线监测和控制膜厚
多波长椭偏仪
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