KLA Profilm3D是一款3D白光干涉轮廓仪。KLA Profilm3D光学轮廓仪使用垂直干涉扫描(WLI)技术与相位干涉(PSI)技术。以较低的价格实现次纳米级的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不损伤样品。
产品特点优势：
视场范围：Profilm3D仅用10倍物镜就提供了达到2mm的视场范围，同时其z大4倍光学变焦的功能满足了不同应用时切换多个物镜的需求。这些都进一步降低了采购需求成本。
100mm自动XY样品台：每台Profilm3D光学轮廓仪都配备100mm自动XY样品台，4孔物镜转台和手动调平装置作为标准配置。
性价比高：以较低的价格实现次纳米级的表面形貌研究。
?非接触式高精度测量?：垂直分辨率可达?亚纳米级?（<1nm），适用于敏感材料（如软质聚合物、生物样本）的无损检测。
?测量简单：?Profilm3D光学轮廓仪软件能直观的反应包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量。在数秒内，您可以获得平面和曲面表面上测量所有常见的粗糙度参数。也可以选择拼接功能软件升级来组合多个影像以提供大面积测量。
产品测量原理：
KLA Profilm3D光学轮廓仪采用白光作为光源，通过分光镜将光束分为两路：一路照射被测样品表面，另一路投射至参考镜表面，两束反射光在CCD相机上形成干涉条纹。样品表面的微小高度差导致光程差变化，通过分析干涉条纹的明暗分布及位置偏移，计算表面各点的相对高度，生成三维形貌数据。
3D白光干涉轮廓仪
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