Zeta-20白光共聚焦是一款紧凑牢固的全集成光学轮廓显微镜，可以提供3D量测和成像功能。该系统采用ZDot?技术，可同时采集高分辨率3D数据和TrueColor（真彩）无限远焦点图像。Zeta-20具备Multi-Mode（多模式）光学系统、简单易用的软件、以及低拥有成本，适用于研发及生产环境。
产品描述
Zeta-20台式光学轮廓仪是非接触式3D表面形貌测量系统。该系统采用ZDot?技术和Multi-Mode(多模式)光学系统，可以对各种不同的样品进行测量：透明和不透明、由低至高的反射率、由光滑至粗糙的纹理，以及纳米至毫米级别的台阶高度。
Zeta-20的配置灵活并易于使用，并集合了六种不同的光学量测技术。ZDot?测量模式可同时采集高分辨率3D数据和TrueColor（真彩）无限远焦点图像。其他3D测量技术包括白光干涉测量、Nomarski干涉对比显微镜和剪切干涉测量。ZDot或集成宽带反射仪都可以对薄膜厚度进行测量。Zeta-20也是一种高端显微镜，可用于样品复检或自动缺陷检测。Zeta-20通过提供全面的台阶高度、粗糙度和薄膜厚度的测量以及缺陷检测功能，适用于研发及生产环境。
主要功能
·采用ZDot和Multi-Mode（多模式）光学器件的简单易用的光学轮廓仪，具有广泛的应用
·可用于样品复检或缺陷检测的高质量显微镜
·ZDot：同时采集高分辨率3D数据和TrueColor（真彩）无限远焦点图像
·ZXI：白光干涉测量技术，适用于z向分辨率高的广域测量
·ZIC：干涉对比度，适用于亚纳米级别粗糙度的表面并提供其3D定量数据
·ZSI：剪切干涉测量技术提供z向高分辨率图像
·ZFT：使用集成宽带反射计测量膜厚度和反射率
·AOI：自动光学检测，并对样品上的缺陷进行量化
·生产能力：通过测序和图案识别实现全自动测量
白光共聚焦
http://www.unicorntec.cn/SonList-1901531.html
https://www.chem17.com/st324987/erlist_1901531.html
