新概念技术:华维纳LDW-P系列通过激光与材料的非线性相互作用,成功突破了光学衍射极限的限制,实现了纳米尺度的加工分辨力,z小的孔洞直径可达50nm。
多受体材料:华维纳LDW-P系列通过高精度的功率调制(<1‰),可兼容包括金属薄膜、无机相变材料、光刻胶等多种受体材料。
可靠易用性:华维纳HWN-P纳米激光直写系统拥有强大的软件功能,支持标量刻写、矢量刻写等多种刻写模式,供用户根据不同的刻写场景而选择。另外,LDW-P系列还支持样品刻写后的在线分析,使用户一站式完成设计、刻写、分析等步骤, 大大提高了工作效率。
激光直写设备
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